国产超高纯度氯化氢试产成功

国产超高纯度氯化氢试产成功

中国中化旗下昊华宇航电子级超高纯度氯化氢装置一次性开车成功，产出纯度达到 99.9999% 以上的合格产品，产品总杂质含量不高于 0.2ppm，项目正式进入试生产阶段，该产品属于半导体产业所需的电子特气，能够满足单晶硅片气相抛光、外延基座腐蚀、外延片刻蚀等芯片制造核心工序的用料标准。

超高纯氯化氢虽然基础化学原料门槛较低，但电子级纯化、输送、储存全流程管控难度很大，微量杂质就会造成晶圆良品率下降，长期以来高端产品供给存在供给压力。项目团队重点攻克精馏纯化等核心工艺，完成多轮工艺方案迭代，在装置建设、设备选型、气密性管控、杂质溯源等环节严格管控，实现一次投料试车成功。本次试产落地，让企业在传统氯碱业务之外新增高端电子化学品产能，补齐产业链上的一环，助力国内半导体材料配套自主化。

电子特气是半导体产业链里不可或缺的细分赛道，除超高纯氯化氢外，高纯氨气、氟化氢、硅烷等品类都在持续推进国产化验证。本次试产完成后，后续还将持续开展稳定性测试、下游客户送样验证，逐步打通从试产、认证到批量供货的流程。国产特气的持续突破，有利于降低下游晶圆、外延企业的原材料采购成本，提升供应链自主可控水平，带动国内氯碱化工企业向精细电子化学品方向转型。

【数据来源】

[2026-11-13]（纯度超过 99.9999% 一次性开车成功）动脉网

[2026-11-12]（Chinese chemical producer starts trial production of ultra-pure gas used in chipmaking）环球时报英文版

[2026-11-11]（纯度达 99.9999% 以上国产电子级氯化氢装置一次性开车成功）科技日报

[2026-11-11]（纯度超过 99.9999% 一次性开车成功）澎湃新闻

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